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Issue Date | Title | Author(s) |
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1991-01 | 플라즈마 Silane 환원반응에 의한 텅스텐박막의 증착 . | 김용태; 민석기; 홍종성; 홍치유 |
1990-10 | 플라즈마 화학증착 텅스텐박막의 증착온도에 따른 비저항 및 결정구조의 변화 . | 김용태; 홍종성; 홍치유; 민석기 |
1991-01 | 플라즈마화학증착 텅스텐박막의 특성에 미치는 H//2/WF//6 입력비의 역활 . | 김용태; 민석기; 홍종성; 강태원; 홍치유 |