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Issue Date | Title | Author(s) |
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- | Thermal stability of plasma deposited tungsten nitride thin films for VLSI devices. | Kim Yong Tae; 이창우; 권철순 |
1999-05-24 | 반도체 금속박막의 배선방법 | 민석기; 권철순; 김용태 |
- | 질소이온 주입된 질화텅스텐박막의 구리배선용 확산방지막 특성 . | Kim Yong Tae; 권철순; 김동준; Min Suk-Ki |
- | (Undefined) | Kim Yong Tae; 김동준; 박종완; 권철순; Min Suk-Ki |