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Issue Date | Title | Author(s) |
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1997-03 | 전자선 리소그라피법에 의한 동일평면게이크 트랜지스터의 제작과 특성 연구 . | 김은규; 민석기; 김광무; 한철구; 정석구; 박종윤; 박종호 |
2000-08-03 | 전자싸이크로트론 공명 플라즈마에서 활성이온 및 활성분자(또는 활성원 자)생성율 제어방법 | 박용주; 민석기; 김은규 |
1998-03-20 | 주기율표III-V족 화합물 반도체의 건식 에칭방법 | 민석기; 김은규 |
2001-01-11 | 질소플라즈마를 이용한 선택적 금속 박막 증착방법 및 그를 이용한 다층금속 연결배선 방법 | 민석기; 곽성관; 김영석; 김은규 |
2000-01 | 질화물·탄화물 반도체의 응용과 연구개발 현황 | 노삼규; 김은규 |
2002-11-05 | 집속이온빔을 이용한 나노결정체 형성방법 | 김은규; 심재환; 김태환; 박용주; 강승언; 추동철 |
2003-01-20 | 집속이온빔을 이용한 나노결정체 형성방법 | 김은규; 심재환; 김태환; 박용주; 강승언; 추동철 |
2000-10-26 | 패턴된 기판을 이용한 양자세선 제작방법 | 김성일; 박영균; 민석기; 김용; 김은규; 손창식 |