Browsing byAuthor김은규

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1997-03전자선 리소그라피법에 의한 동일평면게이크 트랜지스터의 제작과 특성 연구 .김은규; 민석기; 김광무; 한철구; 정석구; 박종윤; 박종호
2000-08-03전자싸이크로트론 공명 플라즈마에서 활성이온 및 활성분자(또는 활성원 자)생성율 제어방법박용주; 민석기; 김은규
1998-03-20주기율표III-V족 화합물 반도체의 건식 에칭방법민석기; 김은규
2001-01-11질소플라즈마를 이용한 선택적 금속 박막 증착방법 및 그를 이용한 다층금속 연결배선 방법민석기; 곽성관; 김영석; 김은규
2000-01질화물·탄화물 반도체의 응용과 연구개발 현황노삼규; 김은규
2002-11-05집속이온빔을 이용한 나노결정체 형성방법김은규; 심재환; 김태환; 박용주; 강승언; 추동철
2003-01-20집속이온빔을 이용한 나노결정체 형성방법김은규; 심재환; 김태환; 박용주; 강승언; 추동철
2000-10-26패턴된 기판을 이용한 양자세선 제작방법김성일; 박영균; 민석기; 김용; 김은규; 손창식

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