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Title
Author(s)
2004-05
적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 MEMS용 압전밸브의 제작 및 특성
정귀상; 윤석진; 김재민
2004-06
적층형 압전밸브의 설계, 제작 및 특성
정귀상; 김재민; 윤석진; 정순종; 송재성
2003-11
파이렉스 #7740 유리박막을 이용한 MEMS용 MLCA와 Si기판의 양극접합 특성
정귀상; 김재민; 윤석진
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