Showing results 1 to 2 of 2
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
1990-01 | PECVD 비정질 실리콘박막의 증착공정에 대한 이론적모델 및 실험결과 . | 김용태; 김진흥; 남철우, et al |
1992-01 | The effect of diluent gas and rapid thermal annealing on the properties of plasma deposited silicon nitride films. | 김용태; 민석기; 남철우, et al |