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Issue DateTitleAuthor(s)
1996-01Design of electrostatic bonding equipment for large area and the effect of contamination particle on the Si-glass electrostatic bonding.문제도; 오재열; 조영래, et al
1995-06대면적 정전 접합 장치 고안 및 Si과 glass 접합주병권; 오명환; 문제도, et al
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