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Issue Date | Title | Author(s) |
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1996-01 | Design of electrostatic bonding equipment for large area and the effect of contamination particle on the Si-glass electrostatic bonding. | 문제도; 오재열; 조영래, et al |
1995-06 | 대면적 정전 접합 장치 고안 및 Si과 glass 접합 | 주병권; 오명환; 문제도, et al |