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Issue Date | Title | Author(s) |
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2000-10-26 | 패턴된 기판을 이용한 양자세선 제작방법 | 김성일; 박영균; 민석기; 김용; 김은규; 손창식 |
1991-01 | 플라즈마 Silane 환원반응에 의한 텅스텐박막의 증착 . | 김용태; 민석기; 홍종성; 홍치유 |
1990-10 | 플라즈마 화학증착 텅스텐박막의 증착온도에 따른 비저항 및 결정구조의 변화 . | 김용태; 홍종성; 홍치유; 민석기 |
1991-01 | 플라즈마화학증착 텅스텐박막의 특성에 미치는 H//2/WF//6 입력비의 역활 . | 김용태; 민석기; 홍종성; 강태원; 홍치유 |
1995-01-20 | 플라즈마 화학중착법에 의한 텅스텐 박막 증착방법 | 김용태; 민석기 |
1995-06-28 | 플라즈마 화학증착법을 이용한 갈륨비소 반도체소자의 쇼트키접합 및 금속배선용 텅스텐박막 형성방법 | 김용태; 민석기 |
1995-01 | 홀로그래픽 리소그래픽 시스템의 제작 및 미세구조 형성 연구 . | 박경현; 김태근; 박정호; 김무성; 민석기; 이주희 |
1997-08-26 | 화학증착장치용 히터 | 민석기; 김용; 김성일; 김무성 |
1997-07-15 | 화학증착장치용 히터 | 민석기; 김용; 김성일; 김무성 |