Browsing byAuthor박성훈

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1991-05-21SiO발생속도 조절에 의한 탄화규소 피복흑연의 제조방법이준근; 박성훈; 최헌진; 김창삼
1991-04-11SiO발생속도 조절에 의한 탄화규소 피복흑연의 제조방법이준근; 박성훈; 최헌진; 김창삼
1997-06-16열충격내성이 개량된 반도체 웨이퍼처리용 탄화규소 피복 흑연치구 및 그의 제조방법김영욱; 김인섭; 박성훈; 이준근

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