Browsing byAuthor박지연
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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2004-03 | MEMS 적용을 위한 Thermal CVD 방법에 의해 증착한 SiC막의 반응성 이온 Etching 특성 평가 | 최기용; 최덕균; 박지연; 김태송 |
KIST 리포지터리는 국립중앙도서관 OAK 보급사업으로 구축되었습니다.
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|---|---|---|
| 2004-03 | MEMS 적용을 위한 Thermal CVD 방법에 의해 증착한 SiC막의 반응성 이온 Etching 특성 평가 | 최기용; 최덕균; 박지연; 김태송 |
KIST 리포지터리는 국립중앙도서관 OAK 보급사업으로 구축되었습니다.