Browsing byAuthor홍종성

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1990-01Characteristics of plasma enhanced chemical vapor deposition tungsten thin films.김용태; 민석기; 홍종성; 김충기
1990-01Effects of SiH//4 on resistivity of plasma enhanced chemical vapor deposition tungsten thin films.김용태; 민석기; 홍종성; 염상섭; 홍치유; 김충기
1993-01PECVD 법으로 형성한 W//6//7N//3//3/GaAs 구조의 열적 특성 .김용태; 민석기; 홍종성; 이세정; 이창우; 이종무
1991-01Plasma enhanced chemical vapor deposition of low-resistive tungsten thin films.김용태; 민석기; 홍종성; 김충기
1991-01갈륨비소위에 플라즈마 화학 증착한 텅스텐박막의 특성연구 .김용태; 민석기; 홍종성; 박승철; 박용주; 한철원; 이명복; 강태원; 홍치유
1991-09비균일 전송선의 기존 해석에 관한 연구김세윤; 하헌태; 홍종성
1991-01플라즈마 Silane 환원반응에 의한 텅스텐박막의 증착 .김용태; 민석기; 홍종성; 홍치유
1990-10플라즈마 화학증착 텅스텐박막의 증착온도에 따른 비저항 및 결정구조의 변화 .김용태; 홍종성; 홍치유; 민석기
1991-01플라즈마화학증착 텅스텐박막의 특성에 미치는 H//2/WF//6 입력비의 역활 .김용태; 민석기; 홍종성; 강태원; 홍치유

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