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2004-03MEMS 적용을 위한 Thermal CVD 방법에 의해 증착한 SiC막의 반응성 이온 Etching 특성 평가최기용; 최덕균; 박지연; 김태송
-Micro mass detection devices for bio-chip based on PZT thick film cantilever.KIM HYUNG JOON; 김용범; 최기용; Kang Ji Yoon; Kim Tae Song
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