KIST Library Institutional Repository

Characteristics of hydrogen ion implantation for SOI fabrication

Other Titles

SOI 제작을 위한 수소 이온 주입 특성

Authors

김형권; Byun Young Tae; KIM TAE GON; Kim Sun Ho; 한상국

Citation

한국광학회 2003 년도 하계학술발표회, pp.230 - 231

Keywords

SOI 제작; 수소 이온 주입; TRIM 시뮬레이터; RBS channeling spectrum

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106144

Appears in Collections:

KIST Conference Paper > Others

Files in This Item:

There are no files associated with this item.

Export

RIS (EndNote)

XLS (Excel)

XML