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Fabrication of 3-D structures with different scales and angles using inclined and bottom side expose method at selected position

Other Titles

선택 위치에서의 경사와 후면 노광을 이용한 다양한 규모와 각도의 3 차원 구조물 제작

Authors

이준섭; Shin Hyun Joon; Moon Sung Wook; 송석호; KIM SHIN GEUN

Citation

제5회 MEMS 학술대회 초록집, pp.145 - 149

Keywords

감광제; 경사노광; 후면 노광; 3차원 구조물

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106359

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