DSpace at KIST: 실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세 기계 구조의 제작

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실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세 기계 구조의 제작

Title: 실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세 기계 구조의 제작

Authors: 주병권; 이윤희; 김형곤; 오명환

Issue Date: 1989-01

Publisher: 반도체재료 및 부품연구회, CAD연구회 합동학술발표회(전자공학회), 인천대

Citation: , 142-146

URI: http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/10824

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