실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세 기계 구조의 제작

Title
실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세 기계 구조의 제작
Authors
주병권이윤희김형곤오명환
Issue Date
1989-01
Publisher
반도체재료 및 부품연구회, CAD연구회 합동학술발표회(전자공학회), 인천대
Citation
, 142-146
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/10824
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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