N₂H₄-H₂O 용액의 최적 식각 조건을 이용한 Si diaphragm의 제작

Title
N₂H₄-H₂O 용액의 최적 식각 조건을 이용한 Si diaphragm의 제작
Authors
주병권이윤희오명환김형곤
Issue Date
1989-01
Publisher
전기학회 하계학술대회 , 전기연구소 .
Citation
, ?-?
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/10858
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE