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Other Titles

압전성 PZT 박막과 표면 마이크로머쉬닝 공정을 이용한 마이크로 칸틸레버 빔의 제작 및 그 문제점

Authors

Yoon Young Soo

Citation

1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움 논문집, v.1, no.1, pp.25 - 33

Keywords

MEMS; cantilever beam; piezoelectricity; surface micromachining

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109871

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