구리확산 방지막으로서 TiW/WNx 이중층의 열적안정성에 관한 연구

Title
구리확산 방지막으로서 TiW/WNx 이중층의 열적안정성에 관한 연구
Authors
김용태김동준박종완권철순민석기
Issue Date
1994-01
Publisher
한국물리학회 제69회 학술논문발표회
Citation
, ?-?
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/11254
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE