플라즈마로 강화된 화학기상증착법으로 증착한 SiN 박막을 이용한 양자우물 무질서화 급속 열처리한 경우와 열처리 하지 않은 경우

Title
플라즈마로 강화된 화학기상증착법으로 증착한 SiN 박막을 이용한 양자우물 무질서화 급속 열처리한 경우와 열처리 하지 않은 경우
Authors
강광남최원준이석김용김상국조규만이정일
Keywords
양자우물 무질서화
Issue Date
1994-01
Publisher
제 3 회 광자기술 학술회의 논문집
Citation
VOL 3, 105-106
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/11261
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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