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Other Titles

실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세 기계 구조의 제작

Authors

Ju Byeong Kwon; LEE YUN HI; KIM Hyoung Gon; OH MYUNG HWAN

Citation

반도체재료 및 부품연구회, CAD연구회 합동학술발표회(전자공학회), 인천대, pp.142 - 146

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/112738

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KIST Conference Paper > Others

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