PECVD 방법으로 SiN 박막을 성장함으로써 얻어지는 양자우물 무질서화 및 양자우물의 Al 확산계수의 계산 .

Title
PECVD 방법으로 SiN 박막을 성장함으로써 얻어지는 양자우물 무질서화 및 양자우물의 Al 확산계수의 계산 .
Authors
최원준이석Jingming Zhang이정일김용강광남김상국조규만
Keywords
quantum well disordering
Issue Date
1995-01
Publisher
제 2 회 한국 반도체 학술대회 논문집
Citation
, 379-381
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/11478
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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