RF-magnetron sputtering 방법으로 제조한 BaTa2O6 박막의 특성과 응용에 관한 연구

Title
RF-magnetron sputtering 방법으로 제조한 BaTa2O6 박막의 특성과 응용에 관한 연구
Authors
남태성송만호이윤희한택상오명환정관수
Issue Date
1995-01
Publisher
'95 대한전기학회 하계학술대회, 대전 Lotte Hotel
Citation
, ?-?
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/11481
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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