매사 (mesa)가 형성된 GaAs 기판위에 MOCVD로 성장시킨 AlGaAs/GaAs 다층박막의 결정면 성장거동의 온도의존성

Title
매사 (mesa)가 형성된 GaAs 기판위에 MOCVD로 성장시킨 AlGaAs/GaAs 다층박막의 결정면 성장거동의 온도의존성
Authors
김용박양근이민석김무성박용주김성일민석기박만장
Keywords
MOCVD
Issue Date
1995-03
Publisher
응용물리
Citation
v. 8, no. 2, 115-122
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/11587
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KIST Publication > Article
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