대면적 정전 접합 장치 고안 및 Si과 glass 접합

Title
대면적 정전 접합 장치 고안 및 Si과 glass 접합
Authors
주병권오명환문제도오재열조영래정효수
Issue Date
1995-06
Publisher
대한전자공학회 하계종합학술대회, 속초 설악플라자리조텔
Citation
, ?-?
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/11609
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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