압전성 PZT 박막과 Surface micromachining 기술을 이용한 Microelectromechanical system 소자의 제작 공정 및 문제점

Title
압전성 PZT 박막과 Surface micromachining 기술을 이용한 Microelectromechanical system 소자의 제작 공정 및 문제점
Authors
윤영수
Keywords
MEMS; PZT; 압전 박막; Micromachining
Issue Date
1997-01
Publisher
요업기술
Citation
VOL 12, NO 5, 364-370
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/11943
Appears in Collections:
KIST Publication > ETC
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