비정질 실리콘 박막을 이용한 유리-유리기판간의 정전 열 접합에 관한 연구

Title
비정질 실리콘 박막을 이용한 유리-유리기판간의 정전 열 접합에 관한 연구
Authors
이덕중주병권이윤희오명환장진
Keywords
FEA
Issue Date
1999-01
Publisher
물리학회 추계학술발표회
Citation
, 491-491
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/12850
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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