PZT 박막의 특성 및 MEMS 디바이스에의 응용 : 초전센서 어레이 형성을 위한 다이아프램 제조

Title
PZT 박막의 특성 및 MEMS 디바이스에의 응용 : 초전센서 어레이 형성을 위한 다이아프램 제조
Authors
김태송
Keywords
PZT; pyroelectric; sensor
Issue Date
1999-02
Publisher
1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움논문집
Citation
VOL 1, NO 1, 9-14
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/12994
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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