DSpace at KISTKIST Article2006

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dc.contributor.author변영태-
dc.contributor.author김선호-
dc.date.accessioned2024-01-21T02:06:00Z-
dc.date.available2024-01-21T02:06:00Z-
dc.date.created2021-09-06-
dc.date.issued2006-10-
dc.identifier.issn0374-4914-
dc.identifier.urihttps://pubs.kist.re.kr/handle/201004/135058-
dc.description.abstract이온주입 기술을 이용하여 집적 3파장 레이저 다이오드 제작에 필요한 양자우물 혼합 공정이 2.0 MV tandem 이온 가속기와 RTA 장비를 이용하여 연구되었다. TRIM 시뮬레이터를 이용하여 주입된 인 이온의 분포와 결함 분포가 계산되었다. 반면에 1 MeV P 이온이 5 $\times$ 10$^{14}$ ions/cm$^2$로 InGaAsP-InGaAs 다중 양자우물 시료에 조사된 후 675 $^\circ$C의 Ar 분위기에서 열처리되었다. 이온 조사된 시료의 PL 스펙트럼은 열처리 시간의 함수로 상온에서 측정되었다. 그 결과 밴드갭 파장은 12분 열처리 후에 113 nm 만큼 많이 청색이동되었다.-
dc.publisher한국물리학회-
dc.title인 이온주입에 의한 집적 3 파장 레이저 구조의 밴드갭 파장이동에 대한 실험적 고찰-
dc.title.alternativeExperimental Study on Bandgap Wavelength Shift of Integrated Three-Wavelength Laser Structure by P Ion Implantation-
dc.typeArticle-
dc.description.journalClass2-
dc.identifier.bibliographicCitation새물리, v.53, no.4, pp.331 - 336-
dc.citation.title새물리-
dc.citation.volume53-
dc.citation.number4-
dc.citation.startPage331-
dc.citation.endPage336-
dc.description.journalRegisteredClasskci-
dc.identifier.kciidART001028621-
dc.subject.keywordAuthorQW intermixing-
dc.subject.keywordAuthorBlue-shift-
dc.subject.keywordAuthorIon irradiation-
dc.subject.keywordAuthorIntegrated three-wavelength laser diode-
dc.subject.keywordAuthor양자우물 혼합-
dc.subject.keywordAuthor청색이동-
dc.subject.keywordAuthor이온조사-
dc.subject.keywordAuthor집적 3파장 레이저 다이오드-
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