HF CVD 방법을 이용한 nanocrystalline 다이아몬드 박막합성

Title
HF CVD 방법을 이용한 nanocrystalline 다이아몬드 박막합성
Authors
강민식백영준이욱성임대순
Keywords
nanocrystalline diamond film
Issue Date
2000-07
Publisher
한국진공학회 제 19 회 학술발표회 2000 년 7. 13-14
Citation
, ?-?
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/13544
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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