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유기금속 화학증착법을 이용한 패터닝된 TiN/BPSG 기판에서의 선택적 구리 증착

Authors

김근국; 김영석; 곽성관; 김은규; 민석기; 박만장

Issue Date

1998-05

Citation

응용물리, v.11, no.3, pp.365 - 369

Keywords

유기금속 화학증착법; 패터닝; TiN/BPSG; 선택적 구리 증착

ISSN

1013-7009

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143083

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