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직접접합된 실리콘 기판쌍에 있어서 계면 산화막의 상태와 이의 새로운 평가방법 .

Authors

주병권; 이윤희; 정회환; 정관수; D. B. Murfett; M. R. Haskard; 차균현; 오명환

Issue Date

1995-03

Citation

전자공학회논문지 ., v.v. 32A, no.no. 3, pp.134 - 142

Keywords

micromachining

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/145160

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