DSpace at KIST: 대향타겟트 스파터기에서 반응성 플라즈마의 스펙트로스코프 검진 .

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	나종갑	-
dc.contributor.author	이택동	-
dc.contributor.author	박순자	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T23:36:31Z	-
dc.date.available	2024-01-21T23:36:31Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1992-01	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146665	-
dc.title	대향타겟트 스파터기에서 반응성 플라즈마의 스펙트로스코프 검진 .	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	3	-
dc.identifier.bibliographicCitation	한국자기학회지, v.v. 2, no.no. 5, pp.337 - 342	-
dc.citation.title	한국자기학회지	-
dc.citation.volume	v. 2	-
dc.citation.number	no. 5	-
dc.citation.startPage	337	-
dc.citation.endPage	342	-
dc.subject.keywordAuthor	대향타겟 스파터링기	-
dc.subject.keywordAuthor	BaO 복합 타겟	-
dc.subject.keywordAuthor	수직고밀도 자기기록매체	-
dc.subject.keywordAuthor	반응성 스파터링	-
dc.subject.keywordAuthor	스펙트로 스코프 검진	-

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