마이크로 터널링 센서의 제작 및 특성 평가 ( Ⅱ )

Title
마이크로 터널링 센서의 제작 및 특성 평가 ( Ⅱ )
Authors
주병권박흥우이덕중박정호오명환
Keywords
MEMS
Issue Date
2000-04
Publisher
제 2 회 MEMS 학술대회
Citation
, 145-153
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/17330
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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