비냉각 적외선 센서 제작을 위한 스퍼터링 방법에 의한 PZT 박막 형성 및 식각 특성 평가

Title
비냉각 적외선 센서 제작을 위한 스퍼터링 방법에 의한 PZT 박막 형성 및 식각 특성 평가
Authors
박윤권주병권박흥우윤영수오영제박정호서상희오명환김철주
Keywords
MEMS
Issue Date
1999-11
Publisher
제 10 회 적외선 영상센서 Conference
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/18281
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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