써모파일형 적외선 검출기의 제작에 관한 연구

Title
써모파일형 적외선 검출기의 제작에 관한 연구
Authors
이성준주병권이윤희서상희오영제김태윤오명환김철주
Keywords
MEMS
Issue Date
1999-11
Publisher
제 10 회 적외선 영상센서 Conference
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/18283
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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