SiNx 덮개층의 성장조건이 InGaAs/InGaAsP 양자우물 무질서화에 미치는 영향

Title
SiNx 덮개층의 성장조건이 InGaAs/InGaAsP 양자우물 무질서화에 미치는 영향
Authors
최원준이희택우덕하김선호강광남조재원
Keywords
양자우물무질서
Issue Date
1999-01
Publisher
한국진공학회 제17회 학술대회 논문개요집
Citation
, 92-92
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/18455
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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