유기금속 화학증착법을 이용한 패터닝된 TiN/BPSG 기판에서의 선택적 구리 증착

Title
유기금속 화학증착법을 이용한 패터닝된 TiN/BPSG 기판에서의 선택적 구리 증착
Authors
김근국김영석곽성관김은규민석기박만장
Keywords
유기금속 화학증착법; 패터닝; TiN/BPSG; 선택적 구리 증착
Issue Date
1998-05
Publisher
응용물리
Citation
VOL 11, NO 3, 365-369
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/18838
ISSN
1013-7009
Appears in Collections:
KIST Publication > Article
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE