2단계 식각법을 이용한 실리콘 팁의 제작

Title
2단계 식각법을 이용한 실리콘 팁의 제작
Authors
주병권오명환김성진박흥우박정호임성규
Issue Date
1995-04
Publisher
대한전기학회 MEMS 연구회 학술발표회, 서울대
Citation
, ?-?
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/20659
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE