Needle-type field emitter 를 만들기 위한 실리콘 비등방성 식각에 관한 연구

Title
Needle-type field emitter 를 만들기 위한 실리콘 비등방성 식각에 관한 연구
Authors
고창기주병권박흥우정재훈이남양오명환김철주
Issue Date
1995-01
Publisher
제2회 한국 반도체 학술대회, 한국과학기술원
Citation
, 189-190
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/20865
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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