레이저 리소그라피 시스템을 이용한 새로운 negative 마스크 제작법 .

Title
레이저 리소그라피 시스템을 이용한 새로운 negative 마스크 제작법 .
Authors
박경현변영태김선호최상삼
Keywords
레이저 리소그라피 시스템; negative 마스크 제작법; negative PR; image revesal 기술; lift-off 방법
Issue Date
1992-01
Publisher
한국물리학회 논문초록집
Citation
VOL 10, NO 2, 363-363
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/21565
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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