Si 과 Be 이온이 공동주입된 GaAs 에 대한 전기 및 광학적 특성연구 .

Title
Si 과 Be 이온이 공동주입된 GaAs 에 대한 전기 및 광학적 특성연구 .
Authors
김은규조훈영민석기이호섭강태원홍치유
Keywords
Si and Be ions; co-implantation; GaAs; characterization
Issue Date
1991-08
Publisher
응용물리
Citation
v. 4, no. 3, 357-362
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/21725
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KIST Publication > Article
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