순철박막의 증착속도 , 미세구조 및 자성에 미치는 스퍼터링조건의 영향

Title
순철박막의 증착속도 , 미세구조 및 자성에 미치는 스퍼터링조건의 영향
Authors
한석희김희중강일구최정옥이정중
Keywords
Fe; thin film; sputtering
Issue Date
1990-11
Publisher
Journal of Korean Magnetic Society
Citation
VOL 1, NO 2, 22-30
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/21769
Appears in Collections:
KIST Publication > Article
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