박막의 미세조직이 구리박막의 미세선 형성에 미치는 영향 .

Title
박막의 미세조직이 구리박막의 미세선 형성에 미치는 영향 .
Authors
나종갑정경태김영호
Keywords
구리세선; 스파터링; 습식화학식각; 미세조직; 표면조도
Issue Date
1991-01
Publisher
대한금속학회지
Citation
v. 29, no. 11, 1097-1104
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/21867
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KIST Publication > Article
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