실리콘질화박막 (SiNx) 성장을 위한 하향흐름 마이크로 웨이브 플라즈마의 특성 분석 .

Title
실리콘질화박막 (SiNx) 성장을 위한 하향흐름 마이크로 웨이브 플라즈마의 특성 분석 .
Authors
김용태김춘근민석기
Issue Date
1989-01
Publisher
응용물리
Citation
v. 2, 142-146
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/22184
Appears in Collections:
KIST Publication > Article
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