적외선 감지 소자를 위한 산화 바나듐의 단층과 다층 박막의 특성 비교에 관한 연구

Title
적외선 감지 소자를 위한 산화 바나듐의 단층과 다층 박막의 특성 비교에 관한 연구
Authors
박철우문성욱정홍배
Keywords
VOx; RF sputtering; TCR
Issue Date
2000-10
Publisher
2000년도 가을 학술논문발표대회
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/23893
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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