유도 결합형 플라즈마내의 이온 존재비율 측정에 관한 연구

Title
유도 결합형 플라즈마내의 이온 존재비율 측정에 관한 연구
Authors
조정희한승희이연희김영우임현의서무진김곤호김옥경
Keywords
plasma
Issue Date
1999-07
Publisher
제 17 회 한국진공학회
Citation
, 219-219
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/23976
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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