진공여과아크법에 의한 다이아몬드상 카본 박막 제조

Title
진공여과아크법에 의한 다이아몬드상 카본 박막 제조
Authors
신진국이광렬은광용
Keywords
다이아몬드상 카본필름; 진공여과아크법; 박막의 물성 및 제어
Issue Date
1999-04
Publisher
전기전자재료
Citation
VOL 12, NO 4, 17-27
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/24011
ISSN
1226-7937
Appears in Collections:
KIST Publication > ETC
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