전자선 리소그라피법에 의한 동일평면게이크 트랜지스터의 제작과 특성 연구 .

Title
전자선 리소그라피법에 의한 동일평면게이크 트랜지스터의 제작과 특성 연구 .
Authors
김은규민석기김광무한철구정석구박종윤박종호
Keywords
전자빔 리소그래피
Issue Date
1997-03
Publisher
응용물리 .
Citation
v. 10, no. 2, 165-169
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/24359
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KIST Publication > Article
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