PECVD 비정질 실리콘박막의 증착공정에 대한 이론적모델 및 실험결과 .

Title
PECVD 비정질 실리콘박막의 증착공정에 대한 이론적모델 및 실험결과 .
Authors
김용태김진흥남철우우성일
Issue Date
1990-01
Publisher
전자공학회논문지
Citation
v. 27, 68-77
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/24905
Appears in Collections:
KIST Publication > Article
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE