스퍼터링 증착조건이 HgCdTe 표면 보호막으로 사용된 Silicon Nitride 박막의 전기적 특성에 미치는 영향

Title
스퍼터링 증착조건이 HgCdTe 표면 보호막으로 사용된 Silicon Nitride 박막의 전기적 특성에 미치는 영향
Authors
정용철안세영이학준최덕균김진상
Keywords
스퍼터링; 표면보호막; SiN
Issue Date
2004-02
Publisher
제11회 한국반도체 학술대회 논문집
Citation
, NO 2, 523-524
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/25626
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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