파이렉스 #7740 유리박막을 이용한 MEMS용 MLCA와 Si기판의 양극접합 특성

Title
파이렉스 #7740 유리박막을 이용한 MEMS용 MLCA와 Si기판의 양극접합 특성
Authors
정귀상김재민윤석진
Issue Date
2003-11
Publisher
한국센서학회
Citation
VOL 12, NO 6, 265-272
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/25922
Appears in Collections:
KIST Publication > Article
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